MPI 针对THz/mmW on Wafer 的测试，在业内率先推出了两款专用探针台：TS150-THz和TS200-THz。同时MPI半自动或自动探针台也全部支持THz测试、负载牵引测试。

THz系列探针台结合毫米波，太赫兹（THz）和自动阻抗调谐器应用的要求，测量方向性提供准确的测试。

任意最高可达1.5THz的带宽、差分或宽带扩频器和/或自动阻抗调谐器的无缝集成；

• 探针精密定位

• 机械系统精密稳定

• 分离接触高重复性-确保校准和测量准确

• 操作确保直观和安全

• 显微镜高放大倍率和高分辨率

• 空间布局科学合理-确保频率扩展模块、显微镜、探针空间