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S2500 是专为量产测试开发的8寸全自动探针台,该系统旨在实现24/7的生产可靠性,并与所有MPI系统附件兼容。
适用于多种量产型晶圆级射频量测应用
• 射频量测 - 至高 67 GHz
• 可同时进行 DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV 量测
• 标准配备有偏心轴晶圆对准镜头
• 可支持配至薄50um薄晶圆选项
• 可支持温度区间:室温℃到300℃
TS3000 12寸半自动探针台
MPI手动探针台(SE屏蔽)
TS150/200HP手动大功率探针台
TS2000SE 8寸半自动屏蔽探针台
AET&AER天线测试模块
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