中科睿华科技（北京）有限公司
半导体和射频微波及毫米波测试领域解决方案
详情描述
TS2000 是一款专为高效综合测试推出的8寸半自动探针台，可以支撑多种应用场景：
FA，设计验证，元件表征，晶圆可靠性以及对MEMS、大功率、RF和mmW器件测试的要求
• DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
• DC~ 110 GHz
• 10 kV / 600 A
• 室温~300 °C
• 集成气浮隔震底座
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TS2000 是一款专为高效综合测试推出的8寸半自动探针台，可以支撑多种应用场景：
FA，设计验证，元件表征，晶圆可靠性以及对MEMS、大功率、RF和mmW器件测试的要求
• DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
• DC~ 110 GHz
• 10 kV / 600 A
• 室温~300 °C
• 集成气浮隔震底座
